Problemstellung:
Ungewohntes Erscheinungsbild des Fotolacks und der Lackschicht
Belackungstechniken: Häufige Problemstellungen
Belichtungstechniken: Häufige Problemstellungen
Entwicklung: Zu geringe Entwicklungsrate
Entwicklung: Zu hoher Dunkelabtrag
Schlechte Lackhaftung
Zu geringe laterale Auflösung des Fotolacks
Bläschen oder Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken
Bläschen in der Lackschicht nach dem Belichten
Bläschen in der Lackschicht nach Back- oder Prozessschritten
Nasschemisches Ätzen: Häufige Problemstellungen
Trockenätzen: Häufige Problemstellungen
Galvanik: Häufige Problemstellungen
Lift-off funktioniert nicht (gut genug)
Substrat-Angriff durch Fotochemikalien
Fotolack lässt sich nicht mehr entfernen
Vorkommen und Erscheinung:
Bewegte Lackflaschen?
Über längere Zeit verschlossene Fotolackflaschen?
Manuelles Dispensieren?
Sprühbelackung?
Überlagerter Fotolack?
Verdünnter Fotolack?
Klümpchen oder „Beulen“ im Lackfilm nach dem Aufschleudern?
Lösungsvorschläge:

MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
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 → Mögliche Ursache:
Beim Bewegen (Tragen, Schwenken) von Lackflaschen können Luftbläschen im Lack eingeschlossen werden. Um die Bläschen vor dem Dispensieren des Lacks an dessen Oberfläche steigen zu lassen, sollte die Lackflasche einige Zeit davor ruhen. Die notwendige Wartezeit hängt stark von der Viskosität des Lacks ab, eine Stunde sollte auf jeden Fall Besserung bringen.
Weiter führende Technische Infos:

 → Lithografie-Forum Lithotalk