 MicroChemicals GmbH
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| → Mögliche Ursache: |
| Durch eine zu lange oder bei zu hohen Temperaturen erfolgte Lagerung von Fotolack zerfällt bereits vor dessen Prozessierung ein zunehmender Teil des Fotoinitiators, welcher im unbelichteten Zustand als Inhibitor wirkt und als solcher die Abtragsrate im Entwickler verringert. |
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