Fotolack Prozessierung Trouble-Shooting Ätzchemikalien und Lösemittel
Fotolacke Ancillaries Lagerung, Handhabung, Alterung Substratvorbehandlung und Belacken Backprozesse Belichten Entwickeln Beschichten + Lift-off Ätzen und Strippen
Positiv, Image reversal, Negativ Chemische Beständigkeit Thermische Beständigkeit Optische Eigenschaften Lösemittel Harz Fotoinitiator
Bei einem Positivlack werden die belichteten Bereiche des Photolacks wegentwickelt, die nicht belichteten Bereiche verbleiben nach dem Entwickeln bis auf einen geringen Dunkelabtrag auf dem Substrat. Dies wird erreicht, indem der im Fotolack enthaltene Fotoinitiator beim Belichten den Fotolack alkalisch löslich macht, während unbelichteter Fotoinitiator als "Inhibitor" die alkalische Löslichkeit des Fotolacks unter die von reinem Harz verringert. MicroChemicals® bietet für fast alle lithografischen Anwendungen (Trockenätzen, Nasschemisches Ätzen, Galvanik, Beschichtung, Schutzlacke...) geeignete Positivlacke ab einer Auflösung von 350 nm und einem Schichtdickenbereich von wenigen 100 nm bis über 100 μm an. Hierzu zählen u.a. die 1500-Serie an Dünnlacken mit verbesserter Haftung (AZ® 1505, 1512HS, 1514H und 1518), die temperaturstabile 6600-Serie (AZ® 6612, 6624 und 6632), die hochauflösenden Dünnlacke AZ® 701MiR und ECI 3027, sowie die Dicklacke AZ® 4562 und AZ® 9260.

Negativlacke verhalten sich genau anders herum: Die belichteten Bereiche im Negativlack quervernetzen bei einem anschließenden Backschritt (Post Exposure Bake) und bleiben im Entwickler stehen. MicroChemicals® deckt mit dem wässrig alkalisch entwickelbaren und nasschemisch strippbaren AZ® nLOF 2000 Negativlacksystem mit AZ® nLOF 2020, 2035 und 2070 einen Schichtdickenbereich von ca. 1 bis über 20 μm ab.

Umkehr-(Image Reversal-)lacke können sowohl positiv als auch negativ prozessiert werden. Letzteres erfordert nach der Strukturgebenden Belichtung einen Umkehrbackschritt sowie eine anschließende Flutbelichtung. MicroChemicals® bietet mit AZ® 5214E, dem TI 35ES und dem TI xLift Umkehrlacke für einen Schichtdickenbereich von ca. 1 bis 20 μm an.

MicroChemicals® bietet die genannten Fotolacke auch in Kleingebinden zu 250 ml, 500 ml und 1.000 ml an.
Weiterführendes Dokument (pdf) Produktübersicht (Lacke und Entwickler) e-Mail Anfrage Beratung zu geeigenete Fotolacken  Post Exposure Bake  Umkehrbackschritt Weiterführendes Dokument (pdf) Einführung neuer Fotolacke
MicroChemicals® - Alles zur Mikrostrukturierung mit kurzen Lieferzeiten auch als Kleingebinde:

Fotolacke (Positivlacke, Umkehrlacke, Negativlacke, Dünnlacke, Dicklacke, Schutzlacke ...)
Hilfsstoffe ( Entwickler, Verdünner, Haftvermittler wie HMDS, Remover, Stripper ...)
Ätzchemikalien (Säuren und fertige Ätzgemische wie Aluminiumätze, Chromätze, Goldätze und Siliziumätze)
Lösemittel (Aceton, Isopropanol, MEK uvm. in VLSI und ULSI Qualität)