Problemstellung:
Ungewohntes Erscheinungsbild des Fotolacks und der Lackschicht
Belackungstechniken: Häufige Problemstellungen
Belichtungstechniken: Häufige Problemstellungen
Entwicklung: Zu geringe Entwicklungsrate
Entwicklung: Zu hoher Dunkelabtrag
Schlechte Lackhaftung
Zu geringe laterale Auflösung des Fotolacks
Bläschen oder Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken
Bläschen in der Lackschicht nach dem Belichten
Bläschen in der Lackschicht nach Back- oder Prozessschritten
Nasschemisches Ätzen: Häufige Problemstellungen
Trockenätzen: Häufige Problemstellungen
Galvanik: Häufige Problemstellungen
Lift-off funktioniert nicht (gut genug)
Substrat-Angriff durch Fotochemikalien
Fotolack lässt sich nicht mehr entfernen
Vorkommen und Erscheinung:
Laserschreiben
Laserinterferenz-Lithografie
Belichtungswellenlängen außerhalb der Absorptionsbanden des Fotolacks
Verkleben der Lackschicht mit der Maske
Lösungsvorschläge:

MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
info@MicroChemicals.de
Impressum / Datenschutz

 → Bläschen oder Risse in der Lackschicht?
Zeigen sich Bläschen oder Risse nach der Belichtung in der Positiv- oder Umkehrlackschicht, liegt dies in der durch die hohen Lichtintensitäten hohen N2-Generation bei der Umwandlung des Fotoinitiators während der Fotoreaktion. Neben der Verwendung von Fotoinitiator-ärmeren Lacken wie dem AZ® 4562 oder AZ® 9260 oder dem AZ® 40 XT welcher beim Belichten gar kein N2 freisetzt kann auch ein längerer/heißerer Softbake, sowie eine optimierte Lackhaftung Abhilfe schaffen. Bleibt die Bläschen- oder Rissbildung dennoch bestehen, muss entweder die Schreibzeit bei verringerter Laserleistung erhöht, oder das Laserschreiben in mehrere Zyklen aufgeteilt werden.
 → Hitzeentwicklung in der Lackschicht?
 → Fokussierung des Laserstrahls
Weiter führende Technische Infos:

 → Belichten von Fotolack
 → (Schlechte) Lackhaftung
 → Prozessierung von Umkehrlacken
 → Softbake von Fotolackschichten
 → Substratreinigung und Haftvermittlung
 → Lithografie-Forum Lithotalk