Problemstellung:
Ungewohntes Erscheinungsbild des Fotolacks und der Lackschicht
Belackungstechniken: Häufige Problemstellungen
Belichtungstechniken: Häufige Problemstellungen
Entwicklung: Zu geringe Entwicklungsrate
Entwicklung: Zu hoher Dunkelabtrag
Schlechte Lackhaftung
Zu geringe laterale Auflösung des Fotolacks
Bläschen oder Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken
Bläschen in der Lackschicht nach dem Belichten
Bläschen in der Lackschicht nach Back- oder Prozessschritten
Nasschemisches Ätzen: Häufige Problemstellungen
Trockenätzen: Häufige Problemstellungen
Galvanik: Häufige Problemstellungen
Lift-off funktioniert nicht (gut genug)
Substrat-Angriff durch Fotochemikalien
Fotolack lässt sich nicht mehr entfernen
Vorkommen und Erscheinung:
Bewegte Lackflaschen?
Über längere Zeit verschlossene Fotolackflaschen?
Manuelles Dispensieren?
Sprühbelackung?
Überlagerter Fotolack?
Verdünnter Fotolack?
Klümpchen oder „Beulen“ im Lackfilm nach dem Aufschleudern?
Lösungsvorschläge:

MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
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 → Klümpchen?
Ein oder mehrere mm-große, unregelmäßige Lackstrukturen auf der belackten Substratoberfläche haben ihren Ursprung meist in der an der Dispenseröffnung angetrockneten Lackschicht. Die dort vor allem bei längeren Pausen oder starker Absaugung durch die Verdunstung des Lösemittels gebildete Lackhaut gelangt beim Dispensieren ganz oder in Stücken auf die Lackschicht. Um die Bildung der Lackhaut zu unterbinden kann zwischen den Belackungsschritten die Zeit verkürzt, die Absaugung verringert bzw. unterbrochen, oder kurz vor dem Dispensieren eine kleine Lackmenge direkt in den Schleudertopf abgelassen werden.
 → Zentrale Überhöhung?
Weiter führende Technische Infos:

 → Aufschleudern von Fotolack
 → Lösemittel: Theorie und Anwendung
 → Lithografie-Forum Lithotalk