Problemstellung:
Ungewohntes Erscheinungsbild des Fotolacks und der Lackschicht
Belackungstechniken: Häufige Problemstellungen
Belichtungstechniken: Häufige Problemstellungen
Entwicklung: Zu geringe Entwicklungsrate
Entwicklung: Zu hoher Dunkelabtrag
Schlechte Lackhaftung
Zu geringe laterale Auflösung des Fotolacks
Bläschen oder Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken
Bläschen in der Lackschicht nach dem Belichten
Bläschen in der Lackschicht nach Back- oder Prozessschritten
Nasschemisches Ätzen: Häufige Problemstellungen
Trockenätzen: Häufige Problemstellungen
Galvanik: Häufige Problemstellungen
Lift-off funktioniert nicht (gut genug)
Substrat-Angriff durch Fotochemikalien
Fotolack lässt sich nicht mehr entfernen
Vorkommen und Erscheinung:
Optimale Substratvorbehandlung?
Beim Ätzen mit HF-haltigen Ätzlösungen?
Auf Edelmetallen?
Optimaler Softbake?
Positivlacke auf transparenten Substraten?
Umkehr- oder Negativlacke?
Beidseitig unterschiedlich metallisierte/dotierte Substratmaterialien?
Lösungsvorschläge:

MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
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 → Mögliche Ursache:
Edelmetalle wie Gold oder Platin weisen generell eine sehr schlechte Lackhaftung auf, die auch über organische Haftvermittler wie HMDS kaum verbessert werden kann. Falls anwendbar, dient eine wenige nm dicke Schicht aus z. B. Titan oder Chrom als metallischer Haftvermittler, welcher nach der Entwicklung des Fotolacks an den frei entwickelten Stellen, bzw. nach der gesamten Prozessierung großflächig wieder abgeätzt werden kann.
Weiter führende Technische Infos:

 → Ätzen von Chrom
 → Ätzen von Gold
 → Entwickeln von Fotolack
 → (Schlechte) Lackhaftung
 → Substratreinigung und Haftvermittlung
 → Lithografie-Forum Lithotalk