Problemstellung:
Ungewohntes Erscheinungsbild des Fotolacks und der Lackschicht
Belackungstechniken: Häufige Problemstellungen
Belichtungstechniken: Häufige Problemstellungen
Entwicklung: Zu geringe Entwicklungsrate
Entwicklung: Zu hoher Dunkelabtrag
Schlechte Lackhaftung
Zu geringe laterale Auflösung des Fotolacks
Bläschen oder Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken
Bläschen in der Lackschicht nach dem Belichten
Bläschen in der Lackschicht nach Back- oder Prozessschritten
Nasschemisches Ätzen: Häufige Problemstellungen
Trockenätzen: Häufige Problemstellungen
Galvanik: Häufige Problemstellungen
Lift-off funktioniert nicht (gut genug)
Substrat-Angriff durch Fotochemikalien
Fotolack lässt sich nicht mehr entfernen
Vorkommen und Erscheinung:
Verfärbung?
Unbelackte Stellen nach dem Belacken?
Streifen, Bläschen und Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken?
Bläschen in der Lackschicht erst nach dem Softbake?
Matte oder wellige Lackoberfläche nach dem Beschichten?
Lösungsvorschläge:

MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
info@MicroChemicals.de
Impressum / Datenschutz

 → Luftbläschen
 → Stickstoff-Bläschen
N2-Bläschen wirken ebenso als Startpunkt für Lackabrisse und haben ihren Ursprung im allmählichen Zerfall des Fotoinitiators, bei welchem Stickstoff freigesetzt wird. Werden Lackflaschen über längere Zeit gelagert löst sich der N2 im Lack und perlt beim Öffnen des Gebindes durch den plötzlichen Druckabfall aus. Auch hier hilft eine Wartezeit vor dem Dispensieren, je nach Lackviskosität von bis zu mehreren Stunden, bei geöffnetem aber aufgesetztem Deckel, um die N2-Bläschen nach oben steigen zu lassen. Stickstoff kann sich auch im Lack lösen, wenn dieser (statt einer Lackpumpe zum Fördern von Fotolack) via Druckbeaufschlagung auf das Substrat verwendet wird.
 → Partikel
Weiter führende Technische Infos:

 → Lagerung, Alterung, Umfüllung und Verdünnung von Fotolacken
 → Lithografie-Forum Lithotalk