Problemstellung:
Ungewohntes Erscheinungsbild des Fotolacks und der Lackschicht
Belackungstechniken: Häufige Problemstellungen
Belichtungstechniken: Häufige Problemstellungen
Entwicklung: Zu geringe Entwicklungsrate
Entwicklung: Zu hoher Dunkelabtrag
Schlechte Lackhaftung
Zu geringe laterale Auflösung des Fotolacks
Bläschen oder Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken
Bläschen in der Lackschicht nach dem Belichten
Bläschen in der Lackschicht nach Back- oder Prozessschritten
Nasschemisches Ätzen: Häufige Problemstellungen
Trockenätzen: Häufige Problemstellungen
Galvanik: Häufige Problemstellungen
Lift-off funktioniert nicht (gut genug)
Substrat-Angriff durch Fotochemikalien
Fotolack lässt sich nicht mehr entfernen
Vorkommen und Erscheinung:
Verfärbung?
Unbelackte Stellen nach dem Belacken?
Streifen, Bläschen und Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken?
Bläschen in der Lackschicht erst nach dem Softbake?
Matte oder wellige Lackoberfläche nach dem Beschichten?
Lösungsvorschläge:

MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
info@MicroChemicals.de
Impressum / Datenschutz
 → Luftbläschen
 → Stickstoff-Bläschen
 → Partikel
Partikel können in ähnlicher Weise wie Luft- oder Gasbläschen zu einem inhomogenen Belackungsergebnis führen. Befinden sich Partikel bereits auf dem Substrat kann dies an einer unzureichenden Substratreinigung, wie auch ungenügenden Reinraumklasse am Ort der Belackung liegen.
Partikel im Lack können ihren Ursprung im Umfüllen in unzureichend gereinigten Gefäßen oder überlagerten = gealterten Lacken haben. Zu hohe Lagertemperaturen oder eine zusätzliche Verdünnung beschleunigen die Lackalterung.
Weiter führende Technische Infos:

 → Lagerung, Alterung, Umfüllung und Verdünnung von Fotolacken
 → Substratreinigung und Haftvermittlung
 → Lithografie-Forum Lithotalk