Problemstellung:
Ungewohntes Erscheinungsbild des Fotolacks und der Lackschicht
Belackungstechniken: Häufige Problemstellungen
Belichtungstechniken: Häufige Problemstellungen
Entwicklung: Zu geringe Entwicklungsrate
Entwicklung: Zu hoher Dunkelabtrag
Schlechte Lackhaftung
Zu geringe laterale Auflösung des Fotolacks
Bläschen oder Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken
Bläschen in der Lackschicht nach dem Belichten
Bläschen in der Lackschicht nach Back- oder Prozessschritten
Nasschemisches Ätzen: Häufige Problemstellungen
Trockenätzen: Häufige Problemstellungen
Galvanik: Häufige Problemstellungen
Lift-off funktioniert nicht (gut genug)
Substrat-Angriff durch Fotochemikalien
Fotolack lässt sich nicht mehr entfernen
Vorkommen und Erscheinung:
Laserschreiben
Laserinterferenz-Lithografie
Belichtungswellenlängen außerhalb der Absorptionsbanden des Fotolacks
Verkleben der Lackschicht mit der Maske
Lösungsvorschläge:

MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
info@MicroChemicals.de
Impressum / Datenschutz

 → Bläschen oder Risse in der Lackschicht?
 → Hitzeentwicklung in der Lackschicht?
Kann der belichtete Lack auch trotz ausreichender Lichtdosis nicht entwickelt, oder der unmittelbar benachbarte, unbelichtete Lack nicht entfernt werden, ist die Lackschicht durch die hohe Lichtintensität evtl. zu heiß geworden. Hierbei vernetzt das Harz des Lacks welcher dabei seine Löslichkeit in vielen Medien verliert. Falls die Laserleistung nicht weiter verringert werden kann, hilft evtl ein mehrstufiges Schreiben mit jeweils verringerter Dosis.
 → Fokussierung des Laserstrahls
Weiter führende Technische Infos:

 → Entwickeln von Fotolack
 → Lithografie-Forum Lithotalk