Problemstellung:
Ungewohntes Erscheinungsbild des Fotolacks und der Lackschicht
Belackungstechniken: Häufige Problemstellungen
Belichtungstechniken: Häufige Problemstellungen
Entwicklung: Zu geringe Entwicklungsrate
Entwicklung: Zu hoher Dunkelabtrag
Schlechte Lackhaftung
Zu geringe laterale Auflösung des Fotolacks
Bläschen oder Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken
Bläschen in der Lackschicht nach dem Belichten
Bläschen in der Lackschicht nach Back- oder Prozessschritten
Nasschemisches Ätzen: Häufige Problemstellungen
Trockenätzen: Häufige Problemstellungen
Galvanik: Häufige Problemstellungen
Lift-off funktioniert nicht (gut genug)
Substrat-Angriff durch Fotochemikalien
Fotolack lässt sich nicht mehr entfernen
Vorkommen und Erscheinung:
Ausreichende Rehydrierung?
Ausreichende Belichtungsdosis bei Positivlacken?
Kompatibler Entwickler?
Entwickler noch aktiv?
Entwickler zu stark verdünnt?
HMDS korrekt angewandt, oder Kontamination mit anderen Medien?
Thermische Zersetzung des Fotoinitiators?
Lackschichtdicke größer als erwartet?
Geänderte Substratreflektivität?
Bei Negativ- oder Umkehrlacken im Umkehrmodus?
Bei chemisch verstärkten Lacken?
Lösungsvorschläge:

MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
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 → Konzentrate vs. ready-to-use Entwickler
Die Entwickler AZ® 400K und AZ® 351B werden üblicherweise 1 : 4 mit Wasser verdünnt angewandt, der AZ® Developer kann konzentriert bis 1 : 1 verdünnt eingesetzt werden. Die TMAH-basierten Entwickler AZ® 326 MIF, 726 MIF und 826 MIF kommen in der Regel unverdünnt zum Einsatz. Beim AZ® 303 liegen typische Verdünnungsverhältnisse bei 1 : 4 (für den AZ® 111 XFS) und 1 : 5 … 1 : 8 (übrige Lacke). Bei sehr dünnen Fotolackschichten oder sehr feinen Strukturen kann auf Kosten der Entwicklungsrate eine bis etwa eineinhalb mal höhere Verdünnung helfen, das Entwicklungsergebnis reproduzierbarer zu gestalten.
Weiter führende Technische Infos:

 → Entwickeln von Fotolack
 → Lagerung, Alterung, Umfüllung und Verdünnung von Fotolacken
 → Lithografie-Forum Lithotalk