Problemstellung:
Ungewohntes Erscheinungsbild des Fotolacks und der Lackschicht
Belackungstechniken: Häufige Problemstellungen
Belichtungstechniken: Häufige Problemstellungen
Entwicklung: Zu geringe Entwicklungsrate
Entwicklung: Zu hoher Dunkelabtrag
Schlechte Lackhaftung
Zu geringe laterale Auflösung des Fotolacks
Bläschen oder Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken
Bläschen in der Lackschicht nach dem Belichten
Bläschen in der Lackschicht nach Back- oder Prozessschritten
Nasschemisches Ätzen: Häufige Problemstellungen
Trockenätzen: Häufige Problemstellungen
Galvanik: Häufige Problemstellungen
Lift-off funktioniert nicht (gut genug)
Substrat-Angriff durch Fotochemikalien
Fotolack lässt sich nicht mehr entfernen
Vorkommen und Erscheinung:
Verfärbung?
Unbelackte Stellen nach dem Belacken?
Streifen, Bläschen und Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken?
Bläschen in der Lackschicht erst nach dem Softbake?
Matte oder wellige Lackoberfläche nach dem Beschichten?
Lösungsvorschläge:

MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
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 → Lagerzeit
Positiv- und Umkehrlacke dunkeln im Laufe der Zeit nach, beschleunigt bei höheren Lagertemperaturen. Der Grund hierfür sind chemische Reaktionen des Fotoinitiators unter Bildung hoch absorbierender Azo-Farbstoffe. Diese Verfärbung tritt nur im sichtbaren Spektralbereich auf und hat keinen Einfluss auf die Prozessierung des Fotolacks. Da die Farbänderung sehr langsam abläuft, fällt sie meist erst bei einem Chargenwechsel des Fotolacks auf.
 → Kontamination
 → Substrat und Lackschichtdicke
 → Nasschemische Prozesse
Weiter führende Technische Infos:

 → Lagerung, Alterung, Umfüllung und Verdünnung von Fotolacken
 → Prozessierung von Umkehrlacken
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