Problemstellung:
Ungewohntes Erscheinungsbild des Fotolacks und der Lackschicht
Belackungstechniken: Häufige Problemstellungen
Belichtungstechniken: Häufige Problemstellungen
Entwicklung: Zu geringe Entwicklungsrate
Entwicklung: Zu hoher Dunkelabtrag
Schlechte Lackhaftung
Zu geringe laterale Auflösung des Fotolacks
Bläschen oder Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken
Bläschen in der Lackschicht nach dem Belichten
Bläschen in der Lackschicht nach Back- oder Prozessschritten
Nasschemisches Ätzen: Häufige Problemstellungen
Trockenätzen: Häufige Problemstellungen
Galvanik: Häufige Problemstellungen
Lift-off funktioniert nicht (gut genug)
Substrat-Angriff durch Fotochemikalien
Fotolack lässt sich nicht mehr entfernen
Vorkommen und Erscheinung:
Verfärbung?
Unbelackte Stellen nach dem Belacken?
Streifen, Bläschen und Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken?
Bläschen in der Lackschicht erst nach dem Softbake?
Matte oder wellige Lackoberfläche nach dem Beschichten?
Lösungsvorschläge:

MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
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 → Flüchtige Lackbestandteile
Einige Lacke wie der AZ® 40XT beinhalten auch höher-flüchtige Bestandteile an Harz oder Lösemittel, welche während typischer Softbake-Temperaturen verdampfen und dabei auch mit dem Auge gut sichtbare Bläschen in der Lackschicht bilden. In diesem Fall sollte die Erwärmung auf die Softbake-Zieltemperatur ausreichend langsam erfolgen (z. B. über das langsame Annähern des Substrats auf einer Proximity-Hotplate falls vorhanden; mehrminütige Temperatur-Rampen wie z. B. 60 ... 80 ... 100°C auf einer Kontakt-Hotplate; oder einer Temperaturrampe in einem Ofen).
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 → Eingeschlossene Luftbläschen
Weiter führende Technische Infos:

 → Lösemittel: Theorie und Anwendung
 → Softbake von Fotolackschichten
 → Lithografie-Forum Lithotalk