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→ Flüchtige Lackbestandteile |
Einige Lacke wie der AZ® 40XT beinhalten auch höher-flüchtige Bestandteile an Harz oder Lösemittel, welche während typischer Softbake-Temperaturen verdampfen und dabei auch mit dem Auge gut sichtbare Bläschen in der Lackschicht bilden. In diesem Fall sollte die Erwärmung auf die Softbake-Zieltemperatur ausreichend langsam erfolgen (z. B. über das langsame Annähern des Substrats auf einer Proximity-Hotplate falls vorhanden; mehrminütige Temperatur-Rampen wie z. B. 60 ... 80 ... 100°C auf einer Kontakt-Hotplate; oder einer Temperaturrampe in einem Ofen). |
→ Ausgasende Substrate |
→ Eingeschlossene Luftbläschen |
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