 MicroChemicals GmbH
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| → Mögliche Ursache: |
| Während beim mehr oder weniger isotropen Sputtern auch senkrechte oder unterschnittene Lackflanken mit beschichtet werden, führt das gerichtete Aufdampfen generell zu einem deutlich besseren Ergebnis beim Lift-off. Vor allem bei dicken (> einige 100 nm) aufgebrachten Schichten sollte - wo anwendbar - das Aufdampfen dem Sputtern vorgezogen werden (28.3 auf Seite 148). |
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