 MicroChemicals GmbH
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89079 Ulm, Germany
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Impressum / Datenschutz |
| → Ausreichend lange Rehydrierung? |
| DNQ-basierte Positivlacke (die meisten AZ® Positivlacke außer z. B. dem AZ® 40 XT) und Umkehrlacke benötigen während der Belichtung eine Mindestmenge an Wasser im Lackvolumen, welches nach dem Softbake oder Umkehrbackschritt wieder über die Luftfeuchtigkeit zugeführt werden muss. Die notwendige Dauer hängt stark von der Lackschichtdicke ab und beträgt zwischen etwa einer Minute für 1 µm dicke Lackschichten und mehreren Stunden für mehrere 10 µm dicke Schichten. |
| → Ausreichende Luftfeuchte? |
| → Rehydrierung rückgängig gemacht? |
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