Problemstellung:
Ungewohntes Erscheinungsbild des Fotolacks und der Lackschicht
Belackungstechniken: Häufige Problemstellungen
Belichtungstechniken: Häufige Problemstellungen
Entwicklung: Zu geringe Entwicklungsrate
Entwicklung: Zu hoher Dunkelabtrag
Schlechte Lackhaftung
Zu geringe laterale Auflösung des Fotolacks
Bläschen oder Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken
Bläschen in der Lackschicht nach dem Belichten
Bläschen in der Lackschicht nach Back- oder Prozessschritten
Nasschemisches Ätzen: Häufige Problemstellungen
Trockenätzen: Häufige Problemstellungen
Galvanik: Häufige Problemstellungen
Lift-off funktioniert nicht (gut genug)
Substrat-Angriff durch Fotochemikalien
Fotolack lässt sich nicht mehr entfernen
Vorkommen und Erscheinung:
Verfließen des Fotolacks?
Aufschäumen des Fotolacks?
Lack lässt sich nicht mehr strippen?
Lösungsvorschläge:

MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
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 → Mögliche Ursache:
Steigt die Temperatur beim Trockenätzen über der Erweichungstemperatur (typ. 100 - 130°C bei Positivlacken) des verwendeten Fotolacks, beginnt dieser zu verrunden und zu verfließen. Maßnahmen zur Abhilfe sind in Abschnitt 28.3 auf Seite 148 aufgelistet.
Weiter führende Technische Infos:

 → Reflow von Fotolacken
 → Lithografie-Forum Lithotalk