Problemstellung:
Ungewohntes Erscheinungsbild des Fotolacks und der Lackschicht
Belackungstechniken: Häufige Problemstellungen
Belichtungstechniken: Häufige Problemstellungen
Entwicklung: Zu geringe Entwicklungsrate
Entwicklung: Zu hoher Dunkelabtrag
Schlechte Lackhaftung
Zu geringe laterale Auflösung des Fotolacks
Bläschen oder Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken
Bläschen in der Lackschicht nach dem Belichten
Bläschen in der Lackschicht nach Back- oder Prozessschritten
Nasschemisches Ätzen: Häufige Problemstellungen
Trockenätzen: Häufige Problemstellungen
Galvanik: Häufige Problemstellungen
Lift-off funktioniert nicht (gut genug)
Substrat-Angriff durch Fotochemikalien
Fotolack lässt sich nicht mehr entfernen
Vorkommen und Erscheinung:
Entwickler korrekt verdünnt?
Kompatibler Entwickler?
Optimaler Softbake?
Zersetzung des Fotoinitiators durch zu lange oder falsche Lagerung?
Bei Umkehr- oder Negativlacken?
Versehentliche Belichtung „dunkler“ Bereiche bei Positivlacken?
Nachentwicklung?
Lösungsvorschläge:

MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
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 → Mögliche Ursache:
Mit zunehmender Entwicklerkonzentration steigt der Dunkelabtrag rascher als die Entwicklungsrate. AZ® 400K und AZ® 351B werden üblicherweise 1 : 4 mit Wasser verdünnt angewandt. AZ® Developer kann konzentriert bis 1 : 1 verdünnt eingesetzt werden. Die Entwickler AZ® 326 MIF, 726 MIF und 826 MIF kommen in der Regel unverdünnt zum Einsatz. Beim AZ® 303 liegen typische Verdünnungsverhältnisse zwischen 1 : 4 (für den AZ® 111 XFS) und 1 : 5 … 1 : 8 (übrige Lacke). Für die Dicklackprozessierung oder eine Erhöhung des Durchsatzes kann die Entwicklerkonzentration auf Kosten der Selektivität einige 10 % über diesen Werten liegen.
Weiter führende Technische Infos:

 → Dicklackprozessierung
 → Entwickeln von Fotolack
 → Lagerung, Alterung, Umfüllung und Verdünnung von Fotolacken
 → Lithografie-Forum Lithotalk