Problemstellung:
Ungewohntes Erscheinungsbild des Fotolacks und der Lackschicht
Belackungstechniken: Häufige Problemstellungen
Belichtungstechniken: Häufige Problemstellungen
Entwicklung: Zu geringe Entwicklungsrate
Entwicklung: Zu hoher Dunkelabtrag
Schlechte Lackhaftung
Zu geringe laterale Auflösung des Fotolacks
Bläschen oder Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken
Bläschen in der Lackschicht nach dem Belichten
Bläschen in der Lackschicht nach Back- oder Prozessschritten
Nasschemisches Ätzen: Häufige Problemstellungen
Trockenätzen: Häufige Problemstellungen
Galvanik: Häufige Problemstellungen
Lift-off funktioniert nicht (gut genug)
Substrat-Angriff durch Fotochemikalien
Fotolack lässt sich nicht mehr entfernen
Vorkommen und Erscheinung:
Bewegte Lackflaschen?
Über längere Zeit verschlossene Fotolackflaschen?
Manuelles Dispensieren?
Sprühbelackung?
Überlagerter Fotolack?
Verdünnter Fotolack?
Klümpchen oder „Beulen“ im Lackfilm nach dem Aufschleudern?
Lösungsvorschläge:

MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
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 → Mögliche Ursache:
Eine Verdünnung von Fotolacken sollte nur mit geeigneten Lösemitteln (z. B. PGMEA oder MEK) und in begrenztem Verdünnungsverhältnis erfolgen, sonst neigen Fotolacke zu rascher Partikelbildung. Bitte kontaktieren Sie uns für Angaben geeigneter Verdünnungen (7.4 auf Seite 49).
Weiter führende Technische Infos:

 → Lagerung, Alterung, Umfüllung und Verdünnung von Fotolacken
 → Lösemittel: Theorie und Anwendung
 → Lithografie-Forum Lithotalk