Soll die aufwachsende Metallstruktur ein negatives Profil aufweisen (d. h. sich nach oben öffnen) muss sich das Lackprofil vom Substrat weg verjüngen. Dies kann entweder mit einem Proximity Gap der Maske beim Belichten oder einem Reflow der Lackstrukturen nach dem Entwickeln über der Erweichungstemperatur des verwendeten Fotolacks erzielt werden.
