Problemstellung:
Ungewohntes Erscheinungsbild des Fotolacks und der Lackschicht
Belackungstechniken: Häufige Problemstellungen
Belichtungstechniken: Häufige Problemstellungen
Entwicklung: Zu geringe Entwicklungsrate
Entwicklung: Zu hoher Dunkelabtrag
Schlechte Lackhaftung
Zu geringe laterale Auflösung des Fotolacks
Bläschen oder Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken
Bläschen in der Lackschicht nach dem Belichten
Bläschen in der Lackschicht nach Back- oder Prozessschritten
Nasschemisches Ätzen: Häufige Problemstellungen
Trockenätzen: Häufige Problemstellungen
Galvanik: Häufige Problemstellungen
Lift-off funktioniert nicht (gut genug)
Substrat-Angriff durch Fotochemikalien
Fotolack lässt sich nicht mehr entfernen
Vorkommen und Erscheinung:
Laserschreiben
Laserinterferenz-Lithografie
Belichtungswellenlängen außerhalb der Absorptionsbanden des Fotolacks
Verkleben der Lackschicht mit der Maske
Lösungsvorschläge:

MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
info@MicroChemicals.de
Impressum / Datenschutz

 → Zu viel Restlösemittel?
 → Partikel oder Bläschen in der Lackschicht?
 → Hard-Contact?
Ein Hard-Contact beim Belichten fördert ein Verkleben der Lackschicht mit der Maske. Falls anwendbar, kann ein Soft-Contact Modus Abhilfe schaffen. Dies gilt besonders für Lacke wie dem AZ® 40 XT oder AZ® 125 nXT, welche auch nach dem Softbake noch relativ niederviskos sind.
 → Schlechte Lackhaftung zum Substrat?
 → ARC-Coating als Lösung
Weiter führende Technische Infos:

 → Belichten von Fotolack
 → Softbake von Fotolackschichten
 → Lithografie-Forum Lithotalk