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→ Mögliche Ursache: |
Hohe Temperaturen, Ionenbeschuss und UV-Hintergrundstrahlung während des Trockenätzens können den Fotolack so stark quervernetzen, dass er sich danach nasschemisch schwer oder gar nicht entfernen lässt. Das Kapitel 22 auf Seite 119, insbesondere 22.4 auf Seite 120 beschreibt mögliche Maßnahmen zur Abhilfe. Auf die Lackschicht redeponiertes Material kann ebenfalls das Entfernen des Fotolacks erschweren, in diesem Fall kann eine Unterstützung mit Ultraschall helfen. |
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