Problemstellung:
Ungewohntes Erscheinungsbild des Fotolacks und der Lackschicht
Belackungstechniken: Häufige Problemstellungen
Belichtungstechniken: Häufige Problemstellungen
Entwicklung: Zu geringe Entwicklungsrate
Entwicklung: Zu hoher Dunkelabtrag
Schlechte Lackhaftung
Zu geringe laterale Auflösung des Fotolacks
Bläschen oder Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken
Bläschen in der Lackschicht nach dem Belichten
Bläschen in der Lackschicht nach Back- oder Prozessschritten
Nasschemisches Ätzen: Häufige Problemstellungen
Trockenätzen: Häufige Problemstellungen
Galvanik: Häufige Problemstellungen
Lift-off funktioniert nicht (gut genug)
Substrat-Angriff durch Fotochemikalien
Fotolack lässt sich nicht mehr entfernen
Vorkommen und Erscheinung:
Verfließen des Fotolacks?
Aufschäumen des Fotolacks?
Lack lässt sich nicht mehr strippen?
Lösungsvorschläge:

MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
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 → Mögliche Ursache:
Hohe Temperaturen, Ionenbeschuss und UV-Hintergrundstrahlung während des Trockenätzens können den Fotolack so stark quervernetzen, dass er sich danach nasschemisch schwer oder gar nicht entfernen lässt. Das Kapitel 22 auf Seite 119, insbesondere 22.4 auf Seite 120 beschreibt mögliche Maßnahmen zur Abhilfe. Auf die Lackschicht redeponiertes Material kann ebenfalls das Entfernen des Fotolacks erschweren, in diesem Fall kann eine Unterstützung mit Ultraschall helfen.
Weiter führende Technische Infos:

 → Lithografie-Forum Lithotalk