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→ Mögliche Ursache: |
Ein noch unbelichteter Positivlack kann durch die beim Trockenätzen präsente UV-Strahlung belichtet werden und dabei Stickstoff freisetzen. Unterstützt durch das thermische Erweichen des Fotolacks können sich so Bläschen bilden bzw. der Fotolack aufschäumen. Maßnahmen zur Abhilfe sind in Abschnitt 28.3 auf Seite 148 aufgelistet. |
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