Problemstellung:
Ungewohntes Erscheinungsbild des Fotolacks und der Lackschicht
Belackungstechniken: Häufige Problemstellungen
Belichtungstechniken: Häufige Problemstellungen
Entwicklung: Zu geringe Entwicklungsrate
Entwicklung: Zu hoher Dunkelabtrag
Schlechte Lackhaftung
Zu geringe laterale Auflösung des Fotolacks
Bläschen oder Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken
Bläschen in der Lackschicht nach dem Belichten
Bläschen in der Lackschicht nach Back- oder Prozessschritten
Nasschemisches Ätzen: Häufige Problemstellungen
Trockenätzen: Häufige Problemstellungen
Galvanik: Häufige Problemstellungen
Lift-off funktioniert nicht (gut genug)
Substrat-Angriff durch Fotochemikalien
Fotolack lässt sich nicht mehr entfernen
Vorkommen und Erscheinung:
Unzureichende Lackstabilität im Elektrolyten
Verunreinigung der Galvanik durch austretendes Restlösemittel?
Unerwünschtes Lackprofil
Die aufgewachsene Metallstruktur haftet nicht gut?
Lösungsvorschläge:

MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
info@MicroChemicals.de
Impressum / Datenschutz

 → Lackrückstände durch die Entwicklung?
 → Lackrückstände durch falsch angewandtes HMDS?
 → Lackrückstände durch Quervernetzung durch das Substrat?
 → Unterwandern bzw. Unterwachsen der Lackmaske?
Durch das Aufquellen von Fotolack kann die Haftung zum Substrat während der galvanischen Abformung nachlassen. Tipps zur Optimierung der Lackhaftung gibt Kapitel 41. Die für die Galvanik optimierten Negativlacke AZ® 15 nXT und AZ® 125 nXT weisen eine auf den meisten Substratmaterialien verbesserte Lackhaftung auf. Auf Edelmetallen verbessert ein wenige nm dünner Titan-Film (alternativ Chrom oder Aluminium) die Lackhaftung deutlich. Ein solch dünner Metallfilm kann - falls erforderlich - nach dem Entwickeln auf den frei entwickelten Stellen in geeigneten Medien entfernt werden. Hierbei ist darauf zu achten, dass lateral nicht zu stark unter den Lackfilm geätzt wird, d. h. der Ätzvorgang möglichst zeitgleich mit dem Entfernen der Haftschicht beendet wird.
Weiter führende Technische Infos:

 → Ätzen von Aluminium
 → Ätzen von Chrom
 → Entwickeln von Fotolack
 → (Schlechte) Lackhaftung
 → Galvanik mit Fotolack-Masken
 → Substratreinigung und Haftvermittlung
 → Lithografie-Forum Lithotalk