 MicroChemicals GmbH
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| → Mögliche Ursache: |
| Edelmetalle wie Gold oder Platin weisen generell eine sehr schlechte Lackhaftung auf, die auch über organische Haftvermittler wie HMDS kaum verbessert werden kann. Falls anwendbar, dient eine wenige nm dicke Schicht aus z. B. Titan oder Chrom als metallischer Haftvermittler, welcher nach der Entwicklung des Fotolacks an den frei entwickelten Stellen, bzw. nach der gesamten Prozessierung großflächig wieder abgeätzt werden kann. |
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