 MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
info@MicroChemicals.de
Impressum / Datenschutz |
| → Optimierte Belichtungsdosis? |
| Grundsätzlich hängt die notwendige Belichtungsdauer neben dem Fotolack und dessen Schichtdicke auch von der spektralen Emission der Lichtquelle und der spektralen Empfindlichkeit des Fotolacks ab (16.5 auf Seite 90). Eine Belichtungsreihe mit Bestimmung der Lichtdosis-abhängigen Entwicklungsrate empfiehlt sich stets bei neuen Prozessen, Lacken oder Änderungen am Belichter. |
| → Dünne Fotolackschichten? |
| → Dicke Fotolackschichten |
|
|
