Problemstellung:
Ungewohntes Erscheinungsbild des Fotolacks und der Lackschicht
Belackungstechniken: Häufige Problemstellungen
Belichtungstechniken: Häufige Problemstellungen
Entwicklung: Zu geringe Entwicklungsrate
Entwicklung: Zu hoher Dunkelabtrag
Schlechte Lackhaftung
Zu geringe laterale Auflösung des Fotolacks
Bläschen oder Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken
Bläschen in der Lackschicht nach dem Belichten
Bläschen in der Lackschicht nach Back- oder Prozessschritten
Nasschemisches Ätzen: Häufige Problemstellungen
Trockenätzen: Häufige Problemstellungen
Galvanik: Häufige Problemstellungen
Lift-off funktioniert nicht (gut genug)
Substrat-Angriff durch Fotochemikalien
Fotolack lässt sich nicht mehr entfernen
Vorkommen und Erscheinung:
Ausreichende Rehydrierung?
Ausreichende Belichtungsdosis bei Positivlacken?
Kompatibler Entwickler?
Entwickler noch aktiv?
Entwickler zu stark verdünnt?
HMDS korrekt angewandt, oder Kontamination mit anderen Medien?
Thermische Zersetzung des Fotoinitiators?
Lackschichtdicke größer als erwartet?
Geänderte Substratreflektivität?
Bei Negativ- oder Umkehrlacken im Umkehrmodus?
Bei chemisch verstärkten Lacken?
Lösungsvorschläge:

MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
info@MicroChemicals.de
Impressum / Datenschutz

 → Zusammenspiel von Lack und Entwickler
Nicht jeder Fotolack lässt sich mit jedem Entwickler entwickeln. Beispielsweise erfordern der AZ® 4533 und 4562 für rückstandsfreies Entwickeln den KOH-basierten AZ® 400K oder den TMAH-basierten AZ® 826 MIF. Für die Negativlacke der AZ® nLOF 2000 Serie, den AZ® 15 nXT oder 125 nXT empfiehlt sich auf gleichem Grund ein TMAH-basierter Entwickler wie der AZ® 326 MIF, 726 MIF oder 826 MIF, wobei letzterer durch ein als Scum-Remover wirkendes Additiv besonders dazu geeignet ist, schwer entwickelbare Lackbereiche sauber zu entfernen. Der AZ® 111 XFS muss mit dem AZ® 303 entwickelt werden.
Weiter führende Technische Infos:

 → Entfernen von Fotolacken
 → Entwickeln von Fotolack
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