 MicroChemicals GmbH
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| → Optisch dünne Lacke |
| Gerade bei dünnen Fotolackschichten hängt die vom Lack absorbierte Lichtdosis und damit die für eine zügige Entwicklung notwendige Belichtungsdauer von dem Reflexions- und Streuverhalten des Substrats ab. Während Metalle wie Cr. Ag oder Pt kurzwelliges Licht sehr stark reflektieren, werden die für die Belichtung von Fotolack geeigneten Wellenlängen von z. B. ITO stark absorbiert, und von Quarz und Gläsern zum großen Teil transmittiert. |
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