 MicroChemicals GmbH
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Impressum / Datenschutz |
| → Korrekte Anwendung von HMDS |
| Wird HMDS aufgeschleudert bzw. bei Raumtemperatur aus der Gasphase aufgebracht, oder dringen die Dämpfe von abgeschleudertem HMDS beim Belacken in die Lackschicht ein, aktiviert sich das HMDS unter der Fotolackschicht erst während des Softbakes. Das hierbei abgespaltene Ammoniak kann v. a. Substrat-nahe Fotolackbereiche chemisch verändern (quervernetzen) und damit eine (Durch-)entwicklung verhindern bzw. die Entwicklungsrate verringern. Wir empfehlen dringend, HMDS aus der Gasphase auf beheizte Substrate aufzubringen und Lack als auch Lackschicht fern von HMDS-Dämpfen zu halten. Aus diesem Grund darf HMDS auch auf keinen Fall in Lackschleudern eingesetzt werden, in der parallel Belackungen mit Fotolack durchgeführt werden. |
| → Kontamination aus der Luft |
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