HMDS sollte im Vakuum aus der Gasphase auf beheizte Substrate aufgebracht werden. Das Auftragen in flüssiger Form verschlechtert in vielen Fällen die Lackhaftung deutlich unter die Lackhaftung unbehandelter Substraten. Aus diesem Grund darf HMDS auch auf keinen Fall in Lackschleudern eingesetzt werden, in der parallel Belackungen mit Fotolack durchgeführt werden.
