 MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
info@MicroChemicals.de
Impressum / Datenschutz |
| → Während der Lagerung |
| → Beim Softbake |
| Die fotoempfindliche Komponente von Fotolacken ist temperaturempfindlich. Übersteigen Dauer und Temperatur von Softbake, Umkehrbackschritt (oder der Post Exposure Bake bei Negativlacken) die empfohlenen Werte, kann dies die Entwicklungsrate deutlich verringern. Wir empfehlen für den Softbake von Positivlacken als ungefähren Startwert für ggfalls. weitere Optimierungen eine Temperatur von 100°C für eine Dauer von einer Minute je µm Lackschichtdicke. Bei Negativlacken (AZ® 15 nXT, AZ® 125 nXT) oder speziellen Dicklacken (AZ® 40 XT) weichen die optimalen Softbake-Parameter von dieser Regel ab, Details dazu in den jeweiligen Datenblättern. |
|
|
