Die Verdunstungsrate des Lösemittels einer aufgeschleuderten Lackschicht und damit deren erzielte Dicke hängt neben der Temperatur und Luftfeuchtigkeit von der Lösemittelkonzentration der Atmosphäre in der Lackschleuder ab. Diese wiederum hängt davon ab, wann und wie viele Substrate seit der letzten Reinigung der Lackschleuder bereits belackt wurden. Aus diesem Grund kann es hinsichtlich konstanter Lackschichtdicken sinnvoll sein, vor einer Belackungsreihe einige Dummy-Wafer zu belacken.
