 MicroChemicals GmbH
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89079 Ulm, Germany
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Impressum / Datenschutz |
| → Zu heißer Post Exposure Bake? |
| → Versehentliche Belichtung |
| Gelangt Licht auch an die nominell „dunklen Stellen“ der Lackschicht, findet auch dort eine teilweise Umkehrreaktion bzw. Quervernetzung statt was die Entwicklungsrate verringert. Mögliche Gründe für eine unfreiwillige Belichtung sind unzureichende Gelblichtbedingungen, Lichtbeugung durch einen Abstand zwischen Fotomaske und Lackoberfläche, Lichtstreuung in der Lackschicht bei einer zu hohen Lichtdosis, eine diffuse Reflexion bei rauen Substraten oder eine laterale Lichtführung durch Reflexion an texturierten Substraten oder innerhalb transparenter Substrate. |
| → Prozessführung kritischer Negativlacke |
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